真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法
专利名称:
真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2019105095566
第一发明人:
郑琦
其它发明人:
林晓;李彦;高鸿钧
申请日期:
专利授权日期:
2020-11-20
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: