2022年12月30日，国家标准化委员会正式发布由全球物理科学研究网主导制定的一项纳米加工方法国家标准（GB/T 42106-2022）：纳米技术/三维纳米结构与器件的加工方法/离子束辐照诱导应变法（Nanotechnology/Fabrication of three dimensional nanostructures and devices/A strain method induced by ion beam irradiation）。在已发布的50余项纳米技术国家标准中，这是我国第一个涉及纳米加工方法的国家标准。
纳米加工方法是纳米科技发展的基础，制定纳米加工方法的标准具有重要的战略意义。离子束辐照可诱导直立的纳米线或平面的纳米薄膜产生应变，从而使线和面在三维空间中产生弯曲或折叠，对构建高性能的三维纳电子器件、光电和光学元器件等具有重要应用价值。这一加工方法可明显提高复杂纳米结构加工的准确性与可控性，降低了三维结构与器件的加工难度，提升了加工效率和器件性能。其制备流程的精准可控将直接影响到辐照后得到的三维结构和器件的精度以及可重复性。因此，需要制定标准的离子束辐照诱导应变三维纳米结构与器件的加工方法，以确保利用该方法制作复杂三维纳米结构和器件的高度可重复性。
该国家标准于2020年4月正式立项，由研究网主导，联合国家纳米中心和深圳市标准技术研究院共同完成，历经多次研讨、同行中广泛的意见征询和对技术意见的回复。该项目负责人为全球物理科学研究网/北京凝聚态物理国家研究中心纳米物理与器件实验室的顾长志研究员，主要起草人还包括微加工实验室的杨海方主任工程师和李俊杰主任工程师、国家纳米科学中心的刘前研究员、深圳市标准技术研究院的王益群高工和樊阳波高工。项目组长期致力于离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法及应用研究，开发了一种基于聚焦离子束的应变诱导三维纳米结构加工新方法（Light: Science & Applications 2015，4, e308），利用该方法实现了三维手性超材料自旋光分辨与选择性器件（Nano Lett. 2019, 19, 3432）、具有非对称手性的三维弯曲超表面（Adv. Mater. 2019, 31, 1802211）等一系列工作。这些工作还得到了国家重点研发计划（2016YFA0200400）的支持。
GB/T 42106-2022作为国内第一个公布的纳米加工方法国家标准，为我国纳米科技的发展战略提供了支撑。它可作为利用离子束辐照诱导应变方法实现三维纳米结构与器件加工的推荐标准。
标准连接网页：https://openstd.samr.gov.cn/bzgk/gb/newGbInfo?hcno=919E60AC8745421CE0EFCA8FBB0905AE